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■特長
・ゴムの薄膜(ダイアフラム)の往復運動を利用して排気を行う真空ポンプです。
・接ガス部には油、水などは使用していないドライ真空ポンプです。サーマルプロテクタを内蔵し、安全面も配慮しました。
・シンプル構造でメンテナンスも容易です。
■用途
・吸着搬送、吸着固定、真空ピンセット。
・分析機器、理化学機器。
・半導体検査装置。
・デバイス組立。
・自動機、包装機。
■仕様
・排気速度(L/min)50/60Hz:75/85
・到達圧力(Pa):13.3×10[[の3乗]]
・吸気口径(mm):12
・電源(V):単相100
・寸法(mm):181×336.5×217
・騒音値(dB):-
・質量(kg):10.3
・サーマルプロテクタ付
・低速低圧用
■注意
・ポンプ停止後に再起動する場合、ポンプ内が真空状態ですと再起動しない場合があります。ポンプ内を大気圧に戻せば再起動いたします。
・「DA-41D」「DA-81S」には、バランスポートが装備されています。これは、ポンプ室の1段側と2段側の圧力を均衡させ、真空起動を可能にす
■原産国
日本
■質量
10.3kg
■メーカー
アルバック機工(株)
■ブランド
ULVAC